介质刻蚀机国际招标公告(1)
1、招标条件
项目概况:名称：介质刻蚀机
数量：1台
原理及用途：CCP刻蚀机通过双射频馈入搭配可实现双区温控的静电吸盘，双区气体分配，2管调节气体，使加工出的器件的关键尺寸达到高度均匀性，反应腔内部能实现低污染加工，其作用主要用于先进CMOS工艺且兼具高选择比的刻蚀需求。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-2640SUMECA27/05
招标项目名称:介质刻蚀机
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 介质刻蚀机 1 该设备主要由寻边功能模块、上下晶圆模块、机械传输模块、EPD终点检测模块、工艺制程模块、晶圆温度控制器及控制管路等部分组成。其他参数详见第八章 无
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。
②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。
③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。
④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。
⑤单位负责人授权书原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2026-02-14
招标文件领购结束时间:2026-02-28
是否在线售卖标书:否
招标文件售价:￥2000/$225
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2026-03-11 09:30
注：有意向的投标人发送邮件（项目名称+公司名称+联系人方式）获取登记表。
联系人：张 明
电话：136 1121 9639
邮箱：hezuozhaobiao@163.com